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产品信息
外围设备
外围设备是指与切割机和研削机组合使用的设备。
恒温水供应设备
详细内容
切割机专用电阻率调整装置
详细内容
全自动晶片清洗设备
详细内容
恒温水供应设备
DTU152
硅晶片的加工
（切削水供应方式：放水式）
DTU1531
DTU162
电子元件的加工
（切削水供应方式：循环式）
切割机专用
电阻率调整装置
二氧化碳溶解器
抑制因切割中使用切削水而导致的
微粒粘附以及由静电造成的不良影响。
全自动晶片清洗设备
DCS141
对切割后的硅晶片、玻璃基板及陶瓷等加工物进行清洗。
DCS1440
DCS1460
精密加工设备
切割机(Dicing Saw),
切断机(Cutting Saw)
激光切割机(Laser Saw)
研削机(Grinder)
抛光机(Polisher),
干式蚀刻机(Dry etcher)
平整机(Surface Planer)
喷水切割机(WaterJet Saw)
适用于新工艺的产品
精密加工工具
切割刀片
研削磨轮
干式抛光研磨磨轮
其他产品
外围设备
恒温水供应设备
电阻率调整装置
晶片清洗设备
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