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產品介紹
恆溫水供應設備 - Water Temperature Control Unit -
恆溫水供應設備可在保持一定的溫度和合適的壓力下,穩定地向切割機、研磨機及拋光機的主軸提供冷卻用水及切割水。透過使用該設備,能將因溫度變化所產生的影響減少到最低程度,從而提高切割機的加工品質。
DTU152
DTU1531
DTU162
冷卻水系統
循環式
循環式
循環式
切割水系統
排放式
排放式
循環式
制冷劑
採用了對臭氧層破壞系數為零的R407C
適用產品
切割機
研磨機
拋光機
DFD6361
DGP8760
切割機
特點
根據流量變化實施的溫度控制冷卻效果得到了提高。
採用了觸摸式彩色液晶顯示螢幕,可顯示故障履歷和溫度變化趨勢。
由於在設計上,既採用了與DTU152相似的構造,又做到能與需要從側面實施維護保養的DFD6361進行並列設置,所以從總體上減少了設備的佔地面積。
利用過濾系統,反復循環使用切割水,有助於降低對環境的負擔。
另外,由於採用了長筒過濾器過濾切割水,與以前的設備相比,有效降低了過濾器的更換頻率。
精密加工装置
切割機(Dicing and Cutting Saw)
雷射切割機(Laser Saw)
研磨機(Grinder)
拋光機(Polisher),
乾式蝕刻機(Dry etcher)
鉋平機(Surface Planer)
水刀切割機(WaterJet Saw)
適用於新製程的產品
精密加工工具
切割刀片
研磨輪
乾式拋光輪
其他產品
週邊設備
恆溫水供應設備
水阻抗調整裝置
晶片清洗設備
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