オートマチックウェーハ洗浄装置 -Automatic Cleaning System -
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ダイシングソーにより切断されたウェーハやガラス基板、セラミックス等の洗浄を目的とした装置です。洗浄・リンス（オプション）・乾燥の各種設定を行うことができます。セミオートダイシングソーと組み合わせて使用可能です。
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DCS141 |
DCS1440 |
DCS1460 |
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| 仕様 |
| 最大ワークサイズ |
ø8" |
ø8"/250mm角 |
ø300mm/310mm角 |
| 対応フレーム |
2-5, 2-6, 2-8 |
2-5, 2-5-1*, 2-6, 2-6-1, 2-8-1 |
2-5, 2-5-1*, 2-6, 2-6-1, 2-8-1, 2-12, 2-12-1 |
| 洗浄方法 |
高圧洗浄仕様 |
高圧洗浄仕様、二流体洗浄仕様* |
| テーブル回転数（min-1） |
0 - 3,000 |
100 - 3,000 |
| スピンナ吐出圧力（MPa） |
2.0 - 12.0 |
2.0 - 11.8 |
装置寸法(WxDxH)
(mm) |
400 x 719 x 1,220
（但し、突起物を除く） |
400 x 600 x 1,220
（但し、突起物・タッチパネル高128mmを除く） |
500 x 650 x 1,220
（但し、突起物・タッチパネル高128mmを除く） |
| 装置質量(kg) |
約150 （トランス使用時： 約170） |
約130 （トランス使用時： 約164） |
約150 （トランス使用時： 約184） |
| 特徴 |
DAD300シリーズと共通のデザインコンセプトで設計され、オペレーションの簡易化、省フットプリント化を実現しています。 |
オプションでダブルアーム洗浄が搭載可能で、洗浄機能が向上しています。また、グリーン調達、RoHS指令に対応した環境に配慮した設計です。 |
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