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定温水供給装置 - Water Temperature Control Unit -
ダイシングソーやグラインダ、ポリッシャのスピンドル冷却水および切削水を一定の温度かつ、適切な圧力まで昇圧させて安定供給する装置です。これにより、熱的変化の要因を最小限に留め加工時のダイシングの加工精度向上が図れます。
DTU152
DTU1531
DTU162
冷却水系
循環式
循環式
循環式
切削水系
放水式
放水式
循環式
冷媒
オゾン破壊係数ゼロのR407Cを採用
対応製品
ダイシングソー
グラインダ
ポリッシャ
DFD6361
DGP8760
ダイシングソー
特徴
流量変化に対する温度制御特性が向上しました。
タッチパネル式カラー液晶パネルを採用しアラーム履歴や温度トレンドの表示を行えます。
DTU152に準じた構造を取りながらも、サイドからのメンテナンスが必要なDFD6361と並べて設置できるよう設計されています。トータルでのフットプリント低減に寄与します。
ろ過機構にて切削水を再利用することで環境負荷の低減に寄与します。
また、ロングフィルタを採用したことで、従来ユニットに比較しフィルタ交換頻度を低減しました。
精密加工装置
ダイシングソー・
カッティングソー
レーザソー
グラインダ
ポリッシャ・ドライエッチャ
サーフェースプレーナー
ウォータジェットソー
新プロセス対応製品
精密加工ツール
ダイシングブレード
グラインディングホイール
ドライポリッシングホイール
その他製品
周辺装置
定温水供給装置
比抵抗値調整ユニット
ウェーハ洗浄装置
関連製品
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