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周辺装置
ダイシングソーやグラインダと併用してお使いいただく装置です。
ダイシングソー用 純水リサイクル装置
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定温水供給装置
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ダイシングソー専用 比抵抗値調整ユニット
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オートマチックウェーハ洗浄装置
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ダイシングソー用
純水リサイクル装置
DWR1720
純水製造、水温調整、ろ過、廃液処理の機能を併せ持つ
純水リサイクル装置
定温水供給装置
DTU152
シリコンウェーハの加工
（切削水 放水式）
DTU1531
DTU162
電子部品の加工
（切削水 循環式）
ダイシングソー専用
比抵抗値調整ユニット
CO
2
インジェクタ
ダイシング時の切削水による
パーティクル付着および静電破壊を抑制
オートマチックウェーハ洗浄装置
DCS1440
ダイシング後のシリコンウェーハや
ガラス基板セラミック等の洗浄
DCS1460
DCS141
（生産終了）
精密加工装置
ダイシングソー・
カッティングソー
レーザソー
グラインダ
ポリッシャ・ドライエッチャ
ダイセパレータ
サーフェースプレーナー
ウォータジェットソー
新プロセス対応製品
精密加工ツール
ダイシングブレード
グラインディングホイール
ドライポリッシングホイール
その他製品
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純水リサイクル装置
定温水供給装置
比抵抗値調整ユニット
ウェーハ洗浄装置
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