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ドライポリッシングホイール
ポリッシャに装着し、裏面研削後の微細な研削痕を除去する(ストレスリリーフ)、「Migaku（磨く）」加工を行う製品です。

新製品
シリーズ 加工対象 特徴
DP08シリーズ DP08
シリーズ		 シリコンウェーハ 他 新開発ドライポリッシングホイール。通常のウェーハ研磨に加え、DBGプロセスでも使用可能。

シリーズ 加工対象 特徴
DPシリーズ DP
シリーズ		 シリコンウェーハ 他 水・スラリーを用いずに乾式で鏡面加工・ストレスリリーフを行うポリッシングホイール


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