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DFG8540
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DFG8560
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| 研削可能ウェーハ径 |
Max ø8"(ø4" - ø8") |
Max ø300(ø8" - ø12") |
| 構造レイアウト |
2スピンドル、3チャックテーブル（ロータリーテーブル方式） |
| アプリケーション |
100 um以下の薄仕上げ研削 |
| 基本仕様 |
| 研削方式 |
ウェーハ回転によるインフィード方式 |
| スピンドル |
使用スピンドル |
高周波モータ組込みエアースピンドル |
| 軸数 |
2 |
| 定格出力（kW） |
4.2 |
4.8 |
| 回転数(min-1)[rpm] |
1,000 - 7,000 |
1,000 - 4,000 |
| Z軸ストローク(mm) |
120（原点付） |
Z軸切込み送り速度
(mm/s) |
0.0001 - 0.08 |
| Z軸早送り速度(mm/s) |
50 |
| Z軸最小指令単位(µm) |
0.1 |
| Z軸最小分解能(µm) |
0.1 |
| ハイトゲージ |
測定範囲(µm) |
0 - 1,800 |
| 分解能(µm) |
0.1 |
| 繰り返し精度(µm) |
±0.5 |
| ウェーハチャックテーブル |
チャックテーブル型式 |
ポーラスチャックテーブル |
| チャック方式 |
バキュームチャック |
| 回転数 |
0 - 300 |
| チャックテーブル数 |
3 |
| チャックテーブル洗浄 |
水及びエアー吹き上げ並びにオイルストーン及びブラシ洗浄 |
スパークアウト
(チャックテーブル回転設定) |
0 - 999 |
| 使用砥石 |
ダイヤモンドホイール(mm) |
ø200 |
ø300 |
| ウェーハ搬送部・洗浄部 |
カセットストレッジ数 |
2 |
| カセット部フロー |
セームフロー及びオープンフロー |
| スピンナユニット |
水洗浄及び乾燥 |
| バキュームユニット |
排気速度(m3/h) |
29/36(m3/h) 50/60(Hz) |
| 到達圧力(kPa・G) |
-90（循環水温15℃、供給水流量1L/min） |
| 電動機（kW） |
1.5 |
| 使用水量（L/min） |
供給温度22℃以上：3/供給温度22℃未満：1 |
| 加工精度 |
ウェーハ内の厚さバラツキ(µm) |
1.5以下（専用チャックテーブル使用時、ø8"ウェーハ研削時） |
| ウェーハ間の厚さバラツキ(µm) |
±3以下 |
| 仕上がり面粗さ(µm) |
Ry0.13(#2000仕上げ時)/Ry0.15前後(#1400仕上げ時) |
装置寸法(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 2,670 x 1,800 |
1,400 x 3,322 x 1,800 |
装置質量
(kg) |
約3,100 |
約4,000 |
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