|
DFL7340
 |
DFL7360
|
|
  |
 |
| 装置概要 |
8インチフレーム対応ステルスダイシングレーザソー |
ø300mmウェーハ対応ステルスダイシングレーザソー |
| 最大対応ウェーハ径 |
ø200 mm |
ø300 mm |
| 最大対応フレーム |
2 - 8 - 1 |
フレーム未対応 |
X軸
（チャックテーブル） |
切削可能範囲(mm) |
210 |
310 |
| 最大送り速度(mm/s) |
1,000 |
Y軸
（チャックテーブル） |
切削可能範囲(mm) |
210 |
310 |
| インデックスステップ(mm) |
0.0001 |
| Y軸位置決め精度 |
0.003以内/310
（単一誤差）0.002以内/5 |
| スケール分解能(mm) |
0.0001 |
0.00005 |
| Z軸 |
レーザフォーカス入力範囲(mm) |
-2.000 - 5.000 |
| 移動分解能(mm) |
0.0001 |
| 繰り返し精度(mm) |
0.001 |
θ軸
（チャックテーブル） |
最大回転角度(deg) |
380
(イニシャル位置より+方向320、-方向60) |
380
(イニシャル位置より+方向245、-方向135) |
レーザ
発振器 |
発振器型式 |
半導体レーザ励起Qスイッチ固体レーザ |
装置寸法(WxDxH)
(mm) |
1,000 x 1,800 x 1,990 |
1,700 x 2,950 x 1,800 |
| 装置質量(kg) |
約1,860 (トランス無し)
約1,990 (トランス有り) |
2,590 (参考値)
|
|
