マルチウェーハマウンタ - Fully Automatic Multifunction Wafer Mounter -
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ø300mm仕様8000シリーズ（DFG8560、DFP8160、DGP8760、DGP8761）とのインラインに対応したマウンタです。表面保護テープへのUV照射機構、DAF貼り付け機構（一体型DAFはDFM2700,2800ともに対応、単体DAFはDFM2700のみ対応）、ダイシングフレームマウント機構、表面保護テープ剥離機構を一体化しています。
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DFM2700
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DFM2800
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| 電源 |
入力電源 |
単相AC200-230 V ± 10% 50/60 Hz |
| 消費電力(kW) |
10 |
10（参考値） |
| 電気容量(kVA) |
12 |
10 |
| 空気源 |
圧力(MPa) |
0.5～0.8 |
| 圧力変動幅(MPa) |
0.03以下 |
| 流量(L/min) |
500以上 |
500以上（参考値） |
| 真空源 |
圧力(KPa) |
-80 以上 |
| 流量(L/min) |
175 |
300以上（参考値） |
| ダクト |
機体
本体部 |
排気量(m3/min) |
0.4以上 |
4以上 |
| 静圧(KPa) |
0.04以上 |
0.04以上（参考値） |
UV
照射部 |
排気量(m3/min) |
2.7 - 5.1 |
2.7 - 5.1以上（参考値） |
| 静圧(KPa) |
0.27 - 0.51 |
0.6以上 |
DAF
ポストキュア |
排気量(m3/min) |
4以上 |
- |
| 静圧(KPa) |
0.4以上 |
- |
| 装置寸法(mm) |
2,200 x 3,700 x 1,800 |
2,150 x 2,600 x 1,800 |
| 装置重量(kg) |
2,900 |
2,600 |
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| ※ |
本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願いいたします。
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