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ディスコHOME > 製品情報 > ポリッシャ・ドライエッチャ > 8000シリーズ Fully Automatic Dry Etcher

製品情報

8000シリーズ - Fully Automatic Dry Etcher -

ドライエッチャとは

8000シリーズ全自動ドライエッチャは、フッ素系ガスのプラズマよりエッチングを行うストレスリリーフユニットです。ウェーハ裏面の研削ダメージ層を除去することでウェーハ割れや反りを低減し、チップ抗折強度・反りを改善。パッケージ工程における歩留まりを向上させます。ドライエッチングをDBGプロセスと組み合わせると、チップ裏面の研削ダメージだけでなく、ハーフカット時の切削ダメージも除去でき、裏面のみのストレスリリーフに比べ、さらに高いチップ強度が得られます。

DBG+ドライエッチングプロセスフロー

グラインダ／ポリッシャ

ポリッシャ

ドライエッチャ

DFE8040

DFE8060

加工可能ウェーハ径

ø8"

ø8"およびø300 mm

基本仕様

処理方式

高密度狭方式プラズマ

使用ガス

SF₆/He/N₂

ウェーハ搬送部

カセットストレッジ数

カセット部フロー

オープンフロー(収納のみ可能)

搬送アーム

グラインダのスピンナ洗浄ユニットよりウェーハをチャンバーにロードし、処理後のウェーハをダミーターブルへアンロードするユニットです。

ダミーテーブル

処理したウェーハを受け渡しのために設置する場所です。

アンロード用ロボット

処理したウェーハをカセットへ収納するためのユニットです。

カセットステージ

ウェーハ収納用のカセットステージです。

使用カセット

DBGカセットのみ

ユーティリティユニット

ドライポンプ

チャンバー換気用ポンプ

排気速度

27m³/h

到達圧力

10 Pa abs

※1年ごとのオーバーホールを推奨します。

ロータリポンプ

ワーク吸着用ポンプ

排気速度

1.9m³/h

到達圧力

0.3 Pa abs

※1年ごとのオーバーホールを推奨します。

RF電源

プラズマ生成用高周波電源

マスフローコントローラー

供給ガスコントロール用

各種バルブ類

処理部制御、ガスコントロール用

ガス探知機

本体、ユーティリティユニットからHFがもれた場合に検出する。
※半年毎の校正を推奨します。

チラーユニット

RF電源･上部電極冷却用、下部電極冷却用の2台使用します。

設定温度範囲

＋5 ～ +35 ℃

最大流量

15 L/min

12 L/min

最大吐出圧

0.42 MPa

冷却能力

2.41 kW(20℃設定）

3.5 kW(20℃設定）

使用水

純水

諸元

電気

電圧

三相 AC 200V ±10%

周波数

50/60 Hz

消費電力

稼動時：5.0 kW
待機時：3.4 kW

稼動時：7.0 kW
待機時：4.0 kW

※上記の値は参考値であり、条件によって異なります。

最大電力

17 kVA

25 kVA

放電用ガス

ガス種

SF₆：純度99.99％以上
He：純度99.99％以上

供給圧

0.1 Mpa 変動幅0.03 MPa以下

※圧力調整用のレギュレータおよびガスフィルタは、お客様側でご準備願います。

パージ用ガス

ガス種

N₂

供給圧

・範囲0.5～0.8 MPa
・変動幅0.03 MPa以下

チャンパ用

流量

50 L/min以上

ウェーハ1枚あたりの消費量

6L
(パージ時間7 sec、処理時間60 secと設定した場合)

ドライポンプ用

流量

1.5 L/min以上

ウェーハ1枚あたりの消費量

1.5 L
(処理時間60 secと設定した場合)

空気

供給圧力

・範囲0.5～0.8 MPa
・変動幅0.03 MPa以下

流量

400 L/min以上（ANR)以上

水

RF電源および上部・下部電極を冷却します。

冷却水量
(チラーユニット)

10～15 L(2台分)^※
※循環仕様ですが必要に応じて冷却水（純水）を補充してください。

ダクト

下記3系統の排気が必要です。

(1)メインダクト

機能

本体内ガス漏れ探知
･装置、プロセスの異常時に有害ガスの装置外流出を防止

排気量

4 m³/　以上
(下記静圧時、機械本体ダクト接続口において)

静圧

-1,200 Pa ～ -130 Pa
(機械本体ダクト接続口において)

(2)ユーティリティダクト

機能

ユーティリティユニット内のガス漏れ検知および排熱

排気量

7 m³/　以上
(下記静圧時、機械本体ダクト接続口において)

静圧

-1,200 Pa ～ -100 Pa (機械本体ダクト接続口において）

(3)プロセスガスダクト

機能

加工処理後のガス排気
・排ガス処理装置を通過した気体を排出します。未使用のSF6ガスを含みます。

排気量

0.6m³/　以上

静圧

-1,200 Pa ～ -45 Pa
(機械本体ダクト接続口において)

装置寸法

本体

1,400 x 2,500 x 1,800

ユーティリティユニット

775 x 942 x 1,525

チラーユニット
※2台必要です

413 x 610 x 664(1台あたり）

540 x 743 x 772(1台あたり）

装置質量

本体

約870 kg

約1.048 kg

ユーティリティユニット

約230 Kg
(除害筒約40kgは含みません)

チラーユニット
※2台必要です

約90 kg x 2

約130 kg x 2

※	本仕様は、改良のためお断りなく変更させていただくことがあります。ご発注の際には、ご確認いただけますようお願いいたします。



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