ディスコではお客さまの加工ニーズにお応えするために、切削水用の添加剤や各種カセット、フレームなどの関連製品も提供しております。
ダイシング切削水に添加することで、加工中のパーティクル付着やパッドの腐食を防止します。
ダイシング時にワークを固定するフレームです。
DTF 2-12-1 |
| 型式 |
対応
ウェーハサイズ |
フレームサイズ(mm) |
特徴/材質 |
発注単位(枚) |
| 外径 |
内径 |
幅 |
板厚 |
| DTF 2-5-1 |
ø4インチ |
168 |
146 |
168 |
1.8 |
角型/
PET6450
BLACK |
25 |
| DTF 2-5 |
ø5インチ |
195 |
165 |
190 |
1.2 |
丸型/
SUS420J2 |
| DTF 2-6 |
214 |
175 |
195 |
1.2 |
SUS420J2 |
| DTF 2-6-1 |
ø6インチ |
228 |
194 |
212 |
| DTF 2-8-1 |
ø8インチ |
296 |
250 |
276 |
1.2 |
| DTF 2-12 |
ø300 mm |
400 |
350 |
380 |
1.5 |
1 |
| DTF 2-12-1 |
400 |
350 |
380 |
1.2 |
|
| ※ |
品番（パーツナンバー）等の詳細につきましては、各サービスグループへお問い合わせください |
|
ダイシングフレームに貼付されたワークを収納するカセットです。
DTC 2-12-2 |
| タイプ |
サイズ |
段数 |
型式 |
フレーム
取り出し方向 |
材質/処理 |
スタンダード
カセット |
ø5インチ |
25段 |
DTC 2-5-1C |
1 Way |
アルミニウム/
ブラック
アルマイト |
| DTC 2-6B |
| DTC 2-6D |
2 Way |
| ø6インチ |
25段 |
DTC 2-6-1E |
1 Way |
アルミニウム/
ブラック
アルマイト |
| DTC 2-6-1G |
2 Way |
DTC 2-6-1D
(5個入り) |
1 Way |
ポリプロピレン(黒) |
| ø8インチ |
13段 |
DTC 2-8H |
1 Way |
アルミニウム/
ブラック
アルマイト |
| 25段 |
DTC 2-8J |
| DTC 2-8G |
2 Way |
| ø300mm |
13段 |
DTC 2-12 |
1 Way |
アルミニウム/
ブラック
アルマイト |
キネマティック
カセット |
ø300mm |
13段 |
DTC 2-12-1 |
| 25段 |
DTC 2-12-2 |
|
| ※ |
品番（パーツナンバー）等の詳細につきましては、各サービスグループへお問い合わせください |
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ウェーハを直接収納するカセットです。
ダブルスロットカセットとは、薄ウェーハを安全に出し入れするための特殊カセットです。
※ディスコでは、標準のカセットは取り扱っておりません。
ダブルスロットカセット
（ø8インチ, 7段）
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| 薄残し用ダブルスロットカセット |
ø8インチ |
7段 |
| 13段 |
| ø300mm |
7段 |
| 13段 |
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