다이싱쏘 전용 비저항값 조정장치 -Resistivity Management Unit-
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CO2인젝터는 다이싱 중에 발생하는 피절삭재에 정전기의 잔류를 저감시켜, 파티클 부착 및 디바이스의 정전파괴를 억제하는 장비입니다.
공급되는 순수의 비저항값을 내리기 위해, 절삭수 중에 산화가스를 용해하여 설정한 비저항값으로 조절합니다.
신개발 CO2혼입(멀티 스테이지 믹싱)방식으로, 절삭수의 유량 변동에도 영향받지 않고 비저항값을 안정시킬 수 있습니다. 또한, 다이싱쏘의 화면상에서 비저항값 설정을 비롯하여 각종 파라미터의 입력, 알람의 집중제어 등을 실행할 수 있으며, DFD6000시리즈의 장치에 내장 가능한 공간절약 설계입니다.
대응장치: 다이싱쏘
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CO2인젝터
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| 비저항값 설정범위(MΩ・cm) |
0.5 - 1.0 |
| 비저항값 변동폭 |
목표 비저항값 ±10％ |
| 특징 |
절삭수의 비저항값을 항시 감시하여, 목표 비저항값으로 맞춤제어를 실행합니다. 또한, 다이서의 풀 오토 개시시/매장 커팅 종료시/에러 발생시의 비저항값을 로깅 가능한 프로세스 관리에도 유효합니다. |
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