오토매틱 웨이퍼 세정장치 -Automatic Cleaning System -
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다이싱쏘로 절단된 웨이퍼나 글라스 기판, 세라믹 등의 세정을 목적으로 한 장치입니다. 세정, 린스(옵션), 건조의 각종 설정을 실행할 수 있습니다. 세미 오토 다이싱쏘와 조합하여 사용 가능합니다.
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DCS141 |
DCS1440 |
DCS1460 |
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| 사양 |
| 대응 웍 사이즈 |
ø8" |
ø8"/250 mm각 |
ø300mm/310 mm각 |
| 최대 대응가능 프레임 사이즈 |
2-5, 2-6, 2-8 |
2-5, 2-5-1*1, 2-6, 2-6-1, 2-8-1 |
2-5, 2-5-1*1, 2-6、2-6-1, 2-8-1, 2-12, 2-12-1 |
| 세정방법 |
고압 세정사양 |
고압 세정사양, 2류체 세정사양* |
| 테이블 회전 수(min-1[rpm]) |
0 - 3,000 |
100 - 3,000 |
| 스피너 압력(MPa) |
2.0 - 12.0 |
2.0 - 11.8 |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
400 x 719 x 1,220 (단, 돌출부은 제외) |
400 x 600 x 1,220 (단, 돌출부, 터치 페널 높이 128mm는 제외) |
500 x 650 x 1,220 (단, 돌출부, 터치 페널 높이 128mm는 제외) |
| 장비 무게(kg) |
약150 (트랜스 있는 경우: 약 170) |
약130 (트랜스 있는 경우: 약 164) |
약150 (트랜스 있는 경우: 약 184) |
| 특징 |
DAD300시리즈와 공통인 디자인 콘셉트로 설계되었으며, 오퍼레이션의 간이화, 공간절약화를 실현하고 있습니다. |
옵션으로 더블 암 세정사양의 탑재가 가능하며, 세정 기능이 향상되어 있습니다. 또한, Green조달, RoHS지령에 대응을 하여 Eco friendly한 설계의 장비입니다. |
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