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제품정보
정온수 공급장치 - Water Temperature Control Unit -
다이싱쏘나 그라인더, 폴리셔의 스핀들 냉각 및 절삭수를 일정 온도와 적절한 압력까지 승압시켜 안정 공급하는 장치입니다. 본 장비로, 열 변화 요인을 최소화 하며, 가공시의 다이싱 가공 정밀도 향상을 추구할 수 있습니다.
DTU152
DTU1531
DTU162
냉각수계
순환식
순환식
순환식
절삭수계
방수식
방수식
순환식
냉매
오존파괴계수 제로인 R407C를 채용
대응 제품
다이싱쏘
그라인더
폴리셔
DFD6361
DGP8760
다이싱쏘
특징
유량변화에 대한 온도제어 특성이 향상되었습니다.
터치패널식 컬러 액정패널을 채용하여, 알람 이력이나 온도변화를 표시할 수 있습니다.
DTU152 준거한 구조로서 메인터넌스가 필요한 DFD6361과 측면연결및 설치가능토록 설계되어 있습니다. 전체 공간절약에 기여합니다.
여과기구로 절삭수 재이용이 가능하여, 친 환경적입니다.
또한, 롱 필터를 채용하여, 종래의 유닛에 비해 필터 교환빈도를 저감시켰습니다.
정밀가공장치
다이싱쏘(Dicing Saw),
커팅쏘(Cutting Saw)
레이저쏘(Laser Saw)
그라인더(Grinder)
폴리셔(Polisher),
드라이 에쳐(Dry etcher)
표면 평탄화 절삭기
(Surface Planer)
워터제트쏘 장비
(WaterJet Saw)
신 프로세스 대응제품
정밀가공도구
다이싱 블레이드
그라인딩 휠
드라이 폴리싱 휠
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비저항값 조정유닛
(CO2 Injector)
웨이퍼 세정장치
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