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제품정보

드라이 폴리싱 휠

폴리셔에 장착하여 표면 연삭후의 미세한 연삭 파괴층을 제거하는(스트레스 릴리프), [Migaku(연마)] 가공을 실행하는 제품입니다.

신제품

	시리즈	가공 대상	특징
	DP08 시리즈	실리콘 웨이퍼, 기타	신개발 드라이 폴리싱 휠. 종래의 웨이퍼 연마와 함께 DBG프로세스에도 사용 가능.

	시리즈	가공 대상	특징
	DP 시리즈	실리콘 웨이퍼, 기타	용수, 슬러리를 사용하지 않고 건식으로 경면가공, 스트레스 릴리프를 실행하는 폴리싱 휠

정밀가공장치

다이싱쏘(Dicing Saw),
커팅쏘(Cutting Saw)

레이저쏘(Laser Saw)

그라인더(Grinder)

폴리셔(Polisher),
드라이 에쳐(Dry etcher)

표면 평탄화 절삭기
(Surface Planer)

신 프로세스 대응제품

정밀가공도구

다이싱 블레이드

그라인딩 휠

드라이 폴리싱 휠

기타 제품

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