800시리즈 -Automatic Grinder-
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DAG800시리즈는 가공물의 로딩/언로딩을 수동으로 실시하는 메뉴얼 그라인더입니다. 1스핀들, 1척 테이블의 심플한 구조로 되어 있습니다.
실리콘 웨이퍼 이외에, 세라믹이나 글라스 등의 난연삭 소재에도 대응하고 있으며, 표준 인피드(In-feed)연삭 뿐만 아니라, 옵션으로 그리피드(Grip-feed)연삭도 선택 가능합니다.
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DAG810
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| 연삭 가능 웨이퍼 지름 |
최대ø8" (유니버셜 척 테이블사용시 ø4"-ø8") |
| 기본사양 |
| 연삭방식 |
자재 회전에 의한 인피드방식 |
| 스핀들 |
사용 스핀들 |
고주파 모터 에어 스핀들 |
| 축 개수 |
1 |
| 정격출력(kW) |
4.2 |
| 회전수 |
1,000 - 7,000 |
| Z축 스트로크 |
120(원점부) |
| Z축 절삭 공급속도 |
0.0001 - 0.05 |
| Z축 빨리보내기 공급속도 |
50 |
| Z축 최소 지령 단위 |
0.1 |
| Z축 최소 분해능 |
0.1 |
| 웨이퍼 척 테이블 |
척 테이블 형식 |
포러스 척 테이블 |
| 척방식 |
베큠 척 |
| 회전수(min-1)[rpm] |
0 - 300 |
| 척 테이블 수 |
1 |
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정) |
0 - 999 |
| Y축 가공 스트로크(mm) |
430 |
| Y축 절삭 공급속도(mm/s) |
0.001 - 50 |
| Y축 빨리보내기 속도(mm/s) |
200 |
| Y축 최소 지령 단위(mm) |
0.01 |
| Y축 최소 분해능(mm) |
0.01 |
| 사용 휠 |
다이아몬드 휠(mm) |
ø200 |
| 가공 정밀도 |
웨이퍼내 두께 편차(µm) |
1.5이하(전용 척 테이블 사용시) |
| 웨이퍼간 두께 편차(µm) |
±3이하 |
| 표면 거칠기(µm) |
Ry0.13(#2000완성 시) / Ry0.15전후(#1400완성 시) |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
600 x 1,700 x 1,780 |
장비 무게
(kg) |
약1,300 |
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| * |
본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
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