800시리즈 - Fully Automatic Grinder -
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웨이퍼 메이커용 그라인더로서 웨이퍼의 평탄화 연삭을 전자동으로 실시하는 연삭장치입니다.
에칭면, 폴리싱면에 대해, 파인 메쉬 휠(Fine Mesh Wheel)로 다이렉트 연삭을 가능하게 하며, 웨이퍼 간의 두께 편차와 TTV(평탄도) 향상을 실현합니다. 또한, 한 쪽면 연삭뿐만 아니라 양면연삭에도 대응 가능합니다.
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DFG830 |
| 연삭 가능 웨이퍼 지름 |
최대ø8"(ø6" - ø8")
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| 구조 레이아웃 |
2스핀들 2척 테이블(고정식) |
| 어플리케이션 |
TTV의 저감, 양면 자동연삭 |
| 기본사양 |
| 연삭방식 |
웨이퍼 회전에 의한 인피드방식 |
| 스핀들 |
사용 스핀들 |
고주파 모터
에어 스핀들 |
| 축개수 |
2 |
| 정격출력(kW) |
4.2 |
| 회전수(min-1)[rpm] |
1,000 - 7,000 |
| Z축 스트로크(mm) |
110 |
Z축 절삭 공급속도
(mm/s) |
0.0001 - 0.08 |
| Z축 빨리 보내기 속도(mm/s) |
50 |
| Z축 최소 지령 단위(um) |
0.1 |
| Z축 최소 분해능(µm) |
0.1 |
| 패키지 |
측정범위(µm) |
0 - 1,000 |
| 분해능(µm) |
0.1 |
| 반복 정밀도(µm) |
±0.5 |
| 웨이퍼 척 테이블 |
척 테이블 형식 |
포러스 척 테이블 |
| 척방식 |
베큠 척 |
| 회전수 |
0 - 300 |
| 척 테이블 수 |
2 |
| 척 테이블 세정 |
물 및 에어 및 오일스톤, 브러시 세정 |
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정) |
0 - 999 |
| 사용 휠 |
다이아몬드 휠(mm) |
ø200 |
| 웨이퍼 반송부, 세정부 |
카세트
스토리지 수 |
4 |
| 카세트부 플로 |
세임(Same) 플로 |
| 스핀너 유닛 |
수세정 및 건조 |
| 버큠 유닛 |
배기속도 |
29/36(m3/h) 50/60(Hz) |
| 도달압력(kPa・G) |
-90(순환수온 15℃, 공급수 유량 1L/min) |
| 전동기(kW) |
1.5 |
| 사용 수량(L/min) |
공급온도 22℃ 이상: 3 / 공급온도 22℃ 미만: 1 |
| 가공 정밀도 |
웨이퍼내 두께 편차(µm) |
1.5이하(전용 척 테이블 사용시, ø8"웨이퍼 연삭시) |
| 웨이퍼간 두께 편차(µm) |
±1.5이하 |
| 표면 거칠기(µm) |
Ry0.13(#2000사용시) / Ry0.15전후(#1400 사용시) |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
1,050 x 2,450 x 1,710 |
장비 무게
(kg) |
약2,500 |
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| * |
본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
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