뛰어난 연삭력으로 높은 신뢰성을 자랑하는 IF시리즈
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IF시리즈는 인피드방식 그라인더용으로 개발된 휠입니다. 실리콘 웨이퍼 뿐만 아니라 전자재료용 결정재료의 연삭가공에도 대응하고 있습니다. 소재의 재질이나 크기, 마무리 정밀도 등 다양한 요구에 부응하는 풍부한 제품군과 어플리케이션 기술을 준비하고 있습니다. |
특 징
- 뛰어난 마무리 정밀도와 안정된 연삭력
- 내마모성에 뛰어난 롱 라이프(Long-Life)사양
- 화합물 반도체 웨이퍼나 리튬 탄탈레이트(LiTaO3) 등의 결정재료에도 대응하는 풍부한 제품 라인업
- 환경을 배려한 PP(폴리프로필렌)제 패키지를 채용
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고강성 비트리파이드(Vitrified) 본드와 그릿 사이즈가 큰 연마용 입자 조합이, 웨이퍼 표면의 산화막이나 질화막의 영향을 잘 받지 않으며, 안정된 가공을 실현합니다.
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VS |
: 표준 타입 |
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VS202 |
: 산화막 대응의 연삭성을 중시한 타입 |
소재로의 가공 데미지가 적은 레진 본드의 채용으로, 안정된 연삭이 가능합니다. 두께 정밀도(TTV), 표면거칠기를 향상시켜, 품질 향상과 롱 라이프를 모두 만족시킵니다.
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B-K01 |
: 연삭성을 중시한 타입 |
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B-K02 |
: 내마모성을 중시한 타입 |
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B-K04 |
: 표준 타입 |
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B-K09 |
: 중(重)연삭에 적합한 타입 |
엣지드(edged) 웨이퍼의 직접연삭에서 고정밀도의 가공결과를 얻을 수 있습니다.
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B-M01 |
: 표준 타입 |
메인터넌스용으로써, 척 테이블 상면을 고르게합니다.
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IF-01-1-SG-M2 |
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: 표준 타입의 셀프 그라인드용 휠 |
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BGT-270 IF-01-1-20/30-V209 |
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: 웨이퍼 메이커용 셀프 그라인드용 휠 |
가공 대상
실리콘 웨이퍼, 화합물 반도체 웨이퍼, 전자재료용 결정재료, 기타
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장착 가능장비
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그라인더: DAG800시리즈, DFG800시리즈, DFG8000시리즈, DGP8000시리즈 |
사 양
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표준 대응범위
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표준 대응범위는 타입에 따라 다를 수 있으므로, 자세한 사항은 당사 영업담당자에게 문의하십시오. |
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