
그라인더에 장착하여, 실리콘 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼등, 얇게 평탄하게 하는 [Kezuru(연마)]가공을 실행하는 제품입니다.
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시리즈 |
가공 대상 |
특징 |
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GF01
시리즈 BR385 |
붕규산염 글라스/무 알칼리 글라스/수정/각종 글라스/기타 |
레진 본드를 사용한 그라인딩 휠입니다. 글라스 연삭의 고품위 가공을 가능하게 하며, 중간 드레싱이 필요 없어 안정된 연속가공을 실현합니다. |
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시리즈 |
가공 대상 |
특징 |
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IF 시리즈 |
실리콘 웨이퍼, 화합물 반도체 웨이퍼, 전자부품용 결정재료, 기타 |
실적이 있는 스탠더드 베이스를 채용 |
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GF01
시리즈 |
연삭수의 공급상태를 최적화하는 신형 베이스를 채용 |
GF01
시리즈
BT100 |
신개발 레진 본드의 채용으로, Z1축에서의 높은 연삭 퀄리티를 실현합니다. |
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Poligrind |
백 그라인딩에 의한 고품질 가공을 추구한 휠입니다. |
백 그라인딩에 의한 고품질 가공을 추구한 휠입니다. |
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RS 시리즈* |
실리콘 웨이퍼, 화합물 반도체 웨이퍼, 전자부품용 결정재료, 기타 |
황삭, 중삭, 마무리연삭용으로, 전용 휠을 제공 |
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| *DFG-83H/6 본체는 이미 판매 종료되었습니다만, RS시리즈의 공급은 계속하고 있습니다. |
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