백 그라인딩으로 고품질 가공을 추구한 신 개발 휠 Poligrind
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디스코의 백 그라인딩 휠 라인업에 새로이 Poligrind(폴리그라인드)가 추가되었습니다. 인피드 그라인더의 마무리 연삭용(Z2축)에 Poligrind를 채용하여, 추가 설비나 프로세스의 변경 없이, 웨이퍼의 마무리 면 거칠기와 항절강도 등의 가공 퀄리티를 향상시킬 수 있습니다. |
특 징
- 기존의 인피드 그라인더에 장착이 가능
- 종래의 프로세스 그대로, 항절강도 등의 퀄리티 향상이 가능
- 파인 메쉬를 채용하여, 퀄리티 높은 연삭면을 실현
- 신개발 본드를 채용하여, 고부하 연삭에 대응
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가공 대상
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실리콘 웨이퍼, 기타 |
장착 가능장치
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그라인더: DAG800시리즈, DFG800시리즈, DFG8000시리즈, DGP8000시리즈 |
Poligrind를 사용함에 있어서
보다 좋은 가공결과를 얻기 위해서는 고객의 자재에 맞는 가공조건을 최적화해야 합니다. 당사의 어플리케이션 엔지니어가 고객의 소재나 요구 정밀도 등에 맞추어 제안해 드립니다. |
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사 양
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주) |
Poligrind 품명표시 방법이 새로워졌습니다. 구품명으로 이용하고 계시는 고객님께는 구품명 그대로 제공해 드립니다. |
파인 메쉬와 신개발 본드의 채용으로, 기존의 Z2축(마무리 연삭)용 휠과 비교하여 항절강도나 표면 거칠기등 가공품질의 향상을 기대할 수 있습니다.
항절강도(구항절)
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| 소재 |
: ø8" Si 미러 웨이퍼 |
| Z2축 픽업량 |
: 35 µm |
| 최종 마무리 두께 |
: 200µm |
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Warpage량
| 사용 Z2축 휠 |
Poligrind |
#2000 B-K09 |
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| Warpage량 |
3.5mm |
14.0mm |
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| 자재 |
: ø8" Si 미러 웨이퍼 |
| Z2축 절삭량 |
: 35µm |
| 최종 마무리두께 |
: 50µm |
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Roughness
| 사용 2축 휠 |
Poligrind |
#2000 B-K09 |
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| Ra(µm) |
0.0141 |
0.0240 |
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| Rmax(µm) |
0.1153 |
0.1734 |
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| 소재 |
: ø8" Si 미러 웨이퍼 |
| Z2축 연삭량 |
: 35µm |
| 측정위치 |
: 웨이퍼 중심부 |
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