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DFE8040
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DFE8060
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| 가공 가능 웨이퍼 지름 |
ø8" |
ø8"및ø300 mm |
| 기본사양 |
| 처리방식 |
고정밀도 슬림방식 플라스마 |
| 사용 가스 |
SF6 / He / N2 |
| 웨이퍼 반송부 |
카세트 스토리지 수 |
2 |
| 카세트부 플로 |
오픈 플로(수납만 가능) |
| 반송 암 |
그라인더의 스피너 세정 유닛에서 웨이퍼를 챔버로 로딩하여, 처리 후 웨이퍼를 더미 테이블로 언로딩하는 유닛 |
| 더미 테이블 |
처리한 웨이퍼를 전달하기 위해 설치하는 장소 |
| 언로드용 로봇 |
처리한 웨이퍼를 카세트로 수납하기 위한 유닛 |
| 카세트 스테이지 |
웨이퍼 수납용 카세트 스테이지 |
| 사용 카세트 |
DBG카세트만 사용 |
| 유틸리티 유닛 |
드라이 펌프 |
챔버 환기용 펌프 |
| 배기속도 |
27m3/h
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| 도달압력 |
10 Pa abs |
| *매년 주기로 분해수리(overhaul)를 권장합니다. |
| 로터리 펌프 |
자재 흡착용 펌프 |
| 배기속도 |
1.9m3/h |
| 도달압력 |
0.3 Pa abs |
| *매년주기로 분해수리(overhaul)를 권장합니다. |
| RF전원 |
플라스마 생성용 고주파 전원 |
| 매스 플로 컨트롤러 |
공급가스 컨트롤용 |
| 각종 밸브류 |
처리부 제어, 가스 컨트롤용 |
| 가스 탐지기 |
본체, 유틸리티 유닛에서 HF의 누출을 검출.
*반년주기로 교정을 권장합니다. |
| 배기가스 처리장치 |
HF・SiF4・SOF2등을 제거 |
| 칠러(냉각) 유닛 |
RF전원, 상부전류 냉각용, 하부전류 냉각용의 2대를 사용. |
| 설정 온도범위 |
＋5 ～ +35 ℃ |
| 최대 유량 |
15 L/min |
12 L/min |
| 최대 토출압 |
0.42 MPa |
| 냉각 능력 |
2.41 kW(20℃설정) |
3.5 kW(20℃설정) |
| 사용수 |
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순수 |
| 제원 |
전기 |
전압 |
3상 AC 200V ±10% |
| 주파수 |
50/60 Hz |
| 소비전력 |
가동시：5.0 kW
대기시：3.4 kW |
가동시：7.0 kW
대기시：4.0 kW |
| *위의 값은 참고값이며, 조건에 따라 다름. |
| 최대 전력 |
17 kVA |
25 kVA |
| 방전용 가스 |
가스종류 |
SF6：순도99.99％以上
He：순도99.99％以上 |
| 공급압 |
0.1 Mpa 변동폭0.03 MPa이하
| *압력 조정용 레귤레이터 및 가스필터는 고객측에서 준비하시기 바랍니다. |
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| 퍼지용 가스 |
가스종류 |
N2 |
| 공급압 |
・범위0.5～0.8 MPa
・변동폭0.03 MPa이하 |
| 챔버용 |
| 유량 |
50 L/min이상 |
| 웨이퍼 1장당 소비량 |
6L
(퍼지시간 7 sec, 처리시간 60 sec로 설정한 경우) |
| 드라이 펌프용 |
| 유량 |
1.5 L/min이상 |
| 웨이퍼 1장당 소비량 |
1.5 L
(처리시간 60 sec로 설정한 경우) |
| 공기 |
공급압력 |
・범위0.5～0.8 MPa
・변동폭0.03 MPa以下 |
| 유량 |
400 L/min이상(ANR)이상 |
| 용수 |
RF전원 및 상하부전극을 냉각합니다. |
냉각수량
(칠러 유닛) |
10～15 L(2대분)*
*순환사양이지만, 필요에 따라 냉각수(순수)를 보충하십시오. |
| 덕트 |
아래의 3계통 배기가 필요합니다. |
| (1) 메인 덕트 |
| 기능 |
본체 내부 가스누출 탐지
･장치, 프로세스 이상시에 유해가스의 장치외부 유출을 방지 |
| 배기량 |
4 m3/ 이상
(아래 정압시, 기기 본체 덕트 접속구에서) |
| 정압 |
-1,200 Pa ～ -130 Pa
(기기 본체 덕트 접속구에서) |
| (2) 유틸리티 덕트 |
| 기능 |
유틸리티 유닛 내부의 가스누출 검지 및 열배출 |
| 배기량 |
7 m3/ 이상
(아래 정압시, 기기 본체 덕트 접속구에서) |
| 정압 |
-1,200 Pa ～ -100 Pa
(기기 본체 덕트 접속구에서) |
| (3) 프로세스가스 덕트 |
| 기능 |
가스 처리후의 가스 배기
・배기가스 처리장치를 통과한 기체를 배출합니다. 미사용인 SF6가스를 포함합니다. |
| 배기량 |
0.6m3/ 이상 |
| 정압 |
-1,200 Pa ～ -45 Pa
(기기 본체 덕트 접속구에서) |
| 장비 치수 |
본체 |
1,400 x 2,500 x 1,800 |
| 유틸리티 유닛 |
775 x 942 x 1,525 |
칠러 유닛
*2대 필요 |
413 x 610 x 664(1대당) |
540 x 743 x 772(1대당) |
| 장비 무게 |
본체 |
약870 kg |
약1.048 kg |
| 유틸리티 유닛 |
약230 Kg
(배기가스 처리장치 약 40kg은 미포함) |
칠러 유닛
*2대 필요 |
약90 kg x 2 |
약130 kg x 2 |
