8000시리즈 - Fully Automatic Polisher -
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8000시리즈 전자동 폴리셔는 다이아몬드가 아니라, 실리콘과 고상반응하는 입자를 사용한 드라이 폴리싱 휠을 사용하여, 절삭수나 케미컬 약품을 일절 사용하지 않고 다이아몬드 가공후의 연삭 굴곡을 제거하는 완전건식 연마장치입니다.
또한, 씬 웨이퍼의 마무리(Finishing)대응으로써, 연삭, 드라이 폴리싱, 웨이퍼 반송까지 보다 안전하게 실시하기 위해 8000시리즈 그라인더나 웨이퍼 마운터/리무버와의 인라인 시스템(In-line System)도 가능합니다.
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DFP8140
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DFP8160
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| 가공 가능 웨이퍼 지름 |
ø4" - ø200 mm
( ø4" - ø8") |
ø200 mm - ø300 mm
( ø8" - ø12") |
| 기본사양 |
| 가공방식 |
웨이퍼 회전에 의한 변칙 인피드방식 |
| 스핀들 |
사용 스핀들 |
고주파 모터 에어 스핀들 |
| 축 개수 |
1
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| 정격출력(kW) |
4.8 |
7.5 |
| 회전수(min-1)[rpm] |
1,000 - 4,000 |
1,000 - 3,000 |
| Z축 스트로크(mm) |
100(원점부) |
72(원점부) |
| Z축 절삭 공급속도(mm/s) |
0.0001 - 0.08 |
| Z축 빨리보내기 공급속도(mm/s) |
50 |
| Z축 최소 지령 단위(µm) |
0.1 |
| Z축 최소 분해능(µm) |
0.1 |
| 웨이퍼 척 테이블 |
척 테이블 형식 |
다공성(porous) 척 테이블 |
| 척 방식 |
베큠 척 |
| 회전 수(min-1)[rpm] |
0 - 300 |
| 척 테이블 수 |
1 |
| 척 테이블 세정 |
물, 에어, 오일스톤 및 브러시 세정 |
| 웨이퍼 세정 |
노즐에 의한 물세정 |
| 내장 부하센서 |
박형 파워센서 |
스파크 아웃
(척 테이블 회전 설정) |
0 - 999 |
| Y축 가공 스트로크 |
420 |
510 |
| Y축 최대속도 |
0.5 - 200 |
| Y축 최소 분해능 |
0.002 |
| 사용 휠 |
드라이 폴리싱용 휠(mm) |
ø300 |
ø450 |
| 웨이퍼 반송부, 세정부 |
카세트 스토리지 수 |
2 |
| 카세트부 플로 |
세임(Same) 플로 및 오픈 플로 |
| 스피너 유닛 |
2류체 노즐에 의한 물세정 및 건조 |
| 버큠 유닛 |
배기속도(m3/h) |
29/36 50/60(Hz) |
| 도달압력(kPa) |
-90(순환수온 15℃, 공급수 유량 1L/min) |
| 전동기(kW) |
1.5 |
| 사용 수량(L/min) |
공급온도 22℃이상: 3/공급온도 22℃미만: 1 |
| 집진 유닛 |
방식 |
웻 사이클론(Wet cyclone)방식 |
| 배기량(m3/min) |
4.0 |
| 전동기(kW) |
1.0 |
| 사용 수량(L/min) |
4.0 |
| 가공 정밀도 |
제거량 편차(µm) |
±1이하(평균2 µm제거 시) |
장비 치수(WxDxH)
(mm) |
1,200 x 2,670 x 1,800 |
1,400 x 3,322 x 1,800 |
장비 무게
(kg) |
약1,900 |
약2,400 |
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| * |
본 사양은 개량을 위해, 사전통보 없이 변경될 수 있습니다. 발주시에는 사양 확인하시기 바랍니다.
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