연성 재료(Au, Cu, 납땜 등), 수지(포토레지스트, 폴리이미드 등) 및 이들의 복합 재료를 다이아몬드 바이트를 사용하여 고정밀 평탄화하는 표면 평삭기 “DFS8910”을 개발하였습니다.
평탄화 장비의 특징
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다이아몬드 바이트를 사용한 고정밀의 표면 평탄화가 가능합니다. |
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절삭에 의한 가공이므로 수지나 금속 등의 복합 재료에도 고품질의 가공을 할 수 있습니다. |
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CMP의 공정을 일부 대체함으로써 생산성 향상및 코스트 저감을 할 수 있습니다. |
평탄화 장비의 가공 사례
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금속 코팅 범퍼의 절삭(액정 드라이버 IC)
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DFS8910로 범퍼를 절삭함으로써 범퍼의 오목한 부분 및 한쪽으로 치우친 형상을 제거할 뿐 아니라 범퍼 높이 편차 및 표면 거칠기 문제도 해결할 수 있습니다. 그럼으로써 범퍼 표면의 ACF(Anisotropic Conductive Film: 이방성 도전 필름) 유효 포착 면적을 확대할 수 있습니다. |
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Cu 범퍼와 포스트 일괄 절삭(포스트 단부 노출)
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Cu 포스트가 매립된 수지를 절삭하여 포스트 단자 상면의 노출을 수행합니다. 포스트 상면을 평탄화 함으로써 다른 디바이스와의 접속 신뢰성이 향상됩니다. 또한 납땜 범퍼를 수지째로 평탄화해서 단부 노출을 수행하는 방법도 검토하고 있습니다. |
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CMP 공정의 대체
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웨이퍼에 형성된 Cu 배선과 절연 필름을 일괄적으로 평탄화해서 그 위에 배선층을 적층하는 프로세스에서는 통상적으로 평탄화에 CMP를 사용하고 있습니다. 이 프로세스에 DFS8910을 사용하면 CMP보다 작업 처리량이 향상됩니다. 뿐만 아니라 현탁액을 사용하지 않으므로 폐수 처리의 경비나 환경에의 부하도 줄일 수 있습니다. |
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기타 가공 사례
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◆납땜 범프의 품질 확인 |
| 납땜 범퍼의 결함 검사에는 주로 X선을 조사해서 얻어지는 투과 화상으로 결함의 유무를 판정하고 있습니다. DFS8910를 사용하면 직접 범퍼를 절삭함으로써 납땜 범퍼 내부에 발생한 실제 결함 상태를 확인할 수 있습니다. |
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◆코팅(Au, Cu) 상태의 개선 |
| 전극 등에 전기 코팅을 하면 코팅의 성장에 편차가 생겨서 굴곡이 있는 불균일한 표면이 됩니다. 이러한 코팅 면을 DFS8910로 절삭함으로써 균일하고 평탄한 표면 상태로 만들 수 있습니다. |
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장치
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