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產品介紹
週邊設備
週邊設備是指與切割機和研磨機配合使用的設備。
恆溫水供應設備
詳細內容
切割機專用純水電阻抗調整裝置
詳細內容
全自動晶片清洗設備
詳細內容
恆溫水供應設備
DTU152
矽晶片的加工
(切割水供應方式: 排放式)
DTU1531
DTU162
電子元件的加工
(切割水供應方式: 循環式)
切割機專用
純水電阻抗調整裝置
二氧化碳溶解器
抑制因切割中使用切割水(純水)而導致的
污染微粒粘附以及由靜電造成的不良影響。
全自動晶片清洗設備
DCS141
對切割後的矽晶片、玻璃基板及
陶瓷等加工物進行清洗。
DCS1440
DCS1460
精密加工装置
切割機(Dicing and Cutting Saw)
雷射切割機(Laser Saw)
研磨機(Grinder)
拋光機(Polisher),
乾式蝕刻機(Dry etcher)
鉋平機(Surface Planer)
水刀切割機(WaterJet Saw)
適用於新製程的產品
精密加工工具
切割刀片
研磨輪
乾式拋光輪
其他產品
週邊設備
恆溫水供應設備
水阻抗調整裝置
晶片清洗設備
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