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精密加工ツールトラブル相談

ディスコの精密加工ツールについて、使用時の注意点や適切な取り扱いについて紹介しています。
トラブルかな?と感じたり、いつもと違う現象が見られるなど、お困りの際にはご一読ください。

  • ブレードのトラブル
  • ホイールのトラブル

ブレードのトラブル

ブレードが破損する
  • ブレードの取り扱いは適切ですか?

    ハブブレードの刃先部分は非常に薄いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分に注意をして、ご使用下さい。

  • ハブマウント(フランジ)の端面精度は適切ですか?

    ハブマウント(フランジ)の端面精度が悪い場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。端面修正の方法についてはメンテナンスマニュアルをご参照ください。

  • ハブマウントとブレードの間に異物を挟んでいませんか?

    異物の挟み込みがあった場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。ブレード交換毎にハブマウント(フランジ)の清掃を実施することを推奨しています。

  • ドレス・プリカットは実施されていますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ブレードの目立て状態・真円状態が悪く、不具合の原因になります。ハブブレードをご使用の際は、プリカットの実施を推奨しています。

  • 適切に切削水が供給されていますか?

    加工点に適切に切削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの詰まりや正確な位置に切削水が当っているかご確認下さい。

  • ノズルにブレードが接触していませんか?

    ブレードにノズルが接触している場合、不具合を起こす可能性があります。特にサイズの異なるブレードへの交換の際にはご注意下さい。

  • ワーク以外のものを加工していませんか?

    本来のワーク以外のものを加工している場合、不具合を起こす可能性があります。フレームやクランプなどを加工している形跡がないかご確認下さい。

  • 加工後にチップが飛散していませんか?

    加工後のチップが飛散した場合、ブレードへ衝突し不具合を起こす可能性があります。加工後にチップの飛散が見られる場合には、ワークの固定状況についてご確認下さい。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    特に送り速度を上昇させた場合、加工負荷が高くなり破損の原因になることがあります。加工条件変更の有無についてご確認下さい。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなり破損の原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認下さい。

加工ラインが蛇行する
  • ブレードの取り扱いは適切ですか?

    ハブブレードの刃先部分は非常に薄いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分に注意をして、ご使用下さい。

  • ハブマウント(フランジ)の端面精度は適切ですか?

    ハブマウント(フランジ)の端面精度が悪い場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。端面修正の方法についてはメンテナンスマニュアルをご参照ください。

  • ハブマウントとブレードの間に異物を挟んでいませんか?

    異物の挟み込みがあった場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。ブレード交換毎にハブマウント(フランジ)の清掃を実施することを推奨しています。

  • ドレス・プリカットは実施されていますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ブレードの目立て状態・真円状態が悪く、不具合の原因になります。ハブブレードをご使用の際は、プリカットの実施を推奨しています。

  • 適切に切削水が供給されていますか?

    加工点に適切に切削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの詰まりや正確な位置に切削水が当っているかご確認下さい。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    特に回転数/速度を上昇させた場合、蛇行の原因になることがあります。加工条件変更の有無についてご確認下さい。

  • ブレードのサイズに変更はありませんか?

    ブレードの刃先出し量を長くしたり、カーフ幅を狭くした場合、ブレードの強度が低下し蛇行の原因になることがあります。サイズ変更の有無についてご確認下さい。

表面チッピングが大きい
  • ブレードの取り扱いは適切ですか?

    ハブブレードの刃先部分は非常に薄いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分に注意をして、ご使用下さい。

  • ハブマウント(フランジ)の端面精度は適切ですか?

    ハブマウント(フランジ)の端面精度が悪い場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。端面修正の方法についてはメンテナンスマニュアルをご参照ください。

  • ハブマウントとブレードの間に異物を挟んでいませんか?

    異物の挟み込みがあった場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。ブレード交換毎にハブマウント(フランジ)の清掃を実施することを推奨しています。

  • ドレス・プリカットは実施されていますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ブレードの目立て状態・真円状態が悪く、不具合の原因になります。ハブブレードをご使用の際は、プリカットの実施を推奨しています。

  • 適切に切削水が供給されていますか?

    加工点に適切に切削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの詰まりや正確な位置に切削水が当っているかご確認下さい。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    特に送り速度を上昇させた場合、加工負荷が高くなりチッピング発生の原因になることがあります。加工条件変更の有無についてご確認下さい。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなりチッピング発生の原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認下さい。

裏面チッピングが大きい
  • ブレードの取り扱いは適切ですか?

    ハブブレードの刃先部分は非常に薄いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分に注意をして、ご使用下さい。

  • ハブマウント(フランジ)の端面精度は適切ですか?

    ハブマウント(フランジ)の端面精度が悪い場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。端面修正の方法についてはメンテナンスマニュアルをご参照ください。

  • ハブマウントとブレードの間に異物を挟んでいませんか?

    異物の挟み込みがあった場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。ブレード交換毎にハブマウント(フランジ)の清掃を実施することを推奨しています。

  • ドレス・プリカットは実施されていますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ブレードの目立て状態・真円状態が悪く、不具合の原因になります。ハブブレードをご使用の際は、プリカットの実施を推奨しています。

  • 適切に切削水が供給されていますか?

    加工点に適切に切削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの詰まりや正確な位置に切削水が当っているかご確認下さい。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    特に送り速度を上昇させた場合、加工負荷が高くなりチッピング発生の原因になることがあります。加工条件変更の有無についてご確認下さい。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなりチッピング発生の原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認下さい。

  • テープに変更はありませんか?

    ダイシングテープは、材質やワーク固定力によりチッピング発生の原因になることがあります。ダイシングテープ変更の有無についてご確認下さい。

カーフ幅が広い
  • ブレードの取り扱いは適切ですか?

    ハブブレードの刃先部分は非常に薄いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分に注意をして、ご使用下さい。

  • ハブマウント(フランジ)の端面精度は適切ですか?

    ハブマウント(フランジ)の端面精度が悪い場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。端面修正の方法についてはメンテナンスマニュアルをご参照ください。

  • ハブマウント(フランジ)とブレードの間に異物を挟んでいませんか?

    異物の挟み込みがあった場合、ブレードが回転中に振れを起こし不具合の原因になります。ブレード交換毎にハブマウント(フランジ)の清掃を実施することを推奨しています。

  • ドレス・プリカットは実施されていますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ブレードの目立て状態・真円状態が悪く、不具合の原因になります。ハブブレードをご使用の際は、プリカットの実施を推奨しています。

  • 適切に切削水が供給されていますか?

    加工点に適切に切削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの詰まりや正確な位置に切削水が当っているかご確認下さい。

  • ブレードに変形はありませんか?

    ブレードに変形がある場合、正常に加工することが出来ない可能性があります。取り扱いには十分に注意をして、ご使用下さい。

ホイールのトラブル

ホイールが破損する
  • ホイールの取り扱いは適切ですか?

    ホイールの刃先部分は非常に脆いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分にご注意ください。 ホイールの取り付け時には、刃先を保護するホイールガードをご使用ください。

  • アイドリング時の回転数は適切ですか?

    装置セットアップ時のアイドリングにおいて過度に高速回転させた場合、破損して人体や装置を傷つける可能性があります。製品に印字された「制限回転数」を必ず守ってください。
    ※制限回転数に関する詳細はこちら

  • 正しいトルク値で取り付けられていますか?

    ホイールを取り付ける際は、規定のトルク値でしっかりと締め付けてください。トルク値の詳細については、メインテナンスマニュアルをご参照ください。

  • ホイールの取り付ける軸は適切ですか?

    ホイールを誤った軸に取り付けると適切な加工が出来ず、不具合の原因となります。ホイールスペックと取り付ける軸をご確認ください。

  • スピンドルマウントとホイールの間に異物を挟んでいませんか?

    異物を挟み込んだまま使用すると、振動や取り付け面からの研削水漏れを起こし不具合の原因になります。 取り付け時にホイールとマウントの取り付け面を清掃することを推奨いたします。

  • 適正なドレス・プリカットを実施していますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ホイール刃先の平行度・目立て状態が悪く、不具合の原因になります。使用粒度・ボンドに適したドレッサーボードおよびドレス条件をご使用ください。

  • ノズルやハイトゲージにホイールが接触していませんか?

    ホイールに外部ノズルやハイトゲージが接触している場合、刃先がダメージを受けて不具合を起こす可能性があります。特にホイールの交換時には刃先との衝突・干渉にご注意ください。

  • ワーク以外のものを加工していませんか?

    本来のワーク以外のものを加工している場合、不具合を起こす可能性があります。保護テープやワーク固定治具などがワークからはみ出していないかご確認ください。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    送り速度を上昇させたりスピンドル回転数を下降させた場合は、加工負荷が高くなり破損の原因になることがあります。加工条件変更の有無についてご確認ください。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなりホイールが破損する原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認ください。

ウェーハが割れる・破損する
  • ホイールの取り扱いは適切ですか?

    ホイールの刃先部分は非常に脆いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分にご注意ください。 ホイールの取り付け時には、刃先を保護するホイールガードをご使用ください。

  • ホイールの取り付ける軸は適切ですか?

    ホイールを誤った軸に取り付けると適切な加工が出来ず、不具合の原因となります。ホイールスペックと取り付ける軸をご確認ください。

  • スピンドルマウントとホイールの間に異物を挟んでいませんか?

    異物を挟み込んだまま使用すると、振動や取り付け面からの研削水漏れを起こし不具合の原因になります。
    取り付け時にホイールとマウントの取り付け面を清掃することを推奨いたします。

  • 適正なドレス・プリカットを実施していますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ホイール刃先の平行度・目立て状態が悪く、不具合の原因になります。使用粒度・ボンドに適したドレッサーボードおよびドレス条件をご使用ください。

  • 適切に研削水が供給されていますか?

    加工点に適切に研削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの設定や研削水量、正確な位置に研削水が当っているかご確認ください。

  • ノズルやハイトゲージにホイールが接触していませんか?

    ホイールに外部ノズルやハイトゲージが接触している場合、刃先がダメージを受けて不具合を起こす可能性があります。特にホイールの交換時には刃先との衝突・干渉にご注意ください。

  • ブロックゲージの管理は適正ですか?

    ブロックゲージが磨り減っている場合、正確なセットアップが出来ずホイールがウェーハに異常に衝突する可能性があります。厚みゲージの管理状態をご確認ください。

  • ワーク以外のものを加工していませんか?

    本来のワーク以外のものを加工している場合、不具合を起こす可能性があります。保護テープやワーク固定治具などがワークからはみ出していないかご確認ください。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    送り速度を上昇させたりスピンドル回転数を下降させた場合は、加工負荷が高くなりワーク破損の原因になることがあります。また、適切にエアーカットが実施されていない場合もワーク破損の原因となります。加工条件変更の有無についてご確認ください。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなりワークが破損するの原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認ください。

ワークが焼ける・変色する
  • ホイールの取り扱いは適切ですか?

    ホイールの刃先部分は非常に脆いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分にご注意ください。 ホイールの取り付け時には、刃先を保護するホイールガードをご使用ください。

  • ホイールの取り付ける軸は適切ですか?

    ホイールを誤った軸に取り付けると適切な加工が出来ず、不具合の原因となります。ホイールスペックと取り付ける軸をご確認ください。

  • スピンドルマウントとホイールの間に異物を挟んでいませんか?

    異物を挟み込んだまま使用すると、振動や取り付け面からの研削水漏れを起こし不具合の原因になります。
    取り付け時にホイールとマウントの取り付け面を清掃することを推奨いたします。

  • 適正なドレス・プリカットを実施していますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ホイール刃先の平行度・目立て状態が悪く、不具合の原因になります。使用粒度・ボンドに適したドレッサーボードおよびドレス条件をご使用ください。

  • 適切に研削水が供給されていますか?

    加工点に適切に研削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの設定や研削水量、正確な位置に研削水が当っているかご確認ください。

  • ワーク以外のものを加工していませんか?

    本来のワーク以外のものを加工している場合、不具合を起こす可能性があります。保護テープやワーク固定治具などがワークからはみ出していないかご確認ください。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    送り速度を下降させたりスピンドル回転数を上昇させた場合は、ホイールが適正に摩耗せず加工面の焼けの原因になることがあります。加工条件変更の有無についてご確認ください。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなり加工面の焼けが発生するの原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認ください。

加工面が粗い・研削痕にムラがある
  • ホイールの取り扱いは適切ですか?

    ホイールの刃先部分は非常に脆いため、何らかと接触があるとダメージを受けてしまいます。取り扱いには十分にご注意ください。 ホイールの取り付け時には、刃先を保護するホイールガードをご使用ください。

  • ホイールの取り付ける軸は適切ですか?

    ホイールを誤った軸に取り付けると適切な加工が出来ず、不具合の原因となります。ホイールスペックと取り付ける軸をご確認ください。

  • ホイールが破損した状態で使用していませんか?

    ホイール刃先が破損した状態で加工した場合、不具合の原因となります。ホイール破損の有無をご確認ください。

  • スピンドルマウントとホイールの間に異物を挟んでいませんか?

    異物を挟み込んだまま使用すると、振動や取り付け面からの研削水漏れを起こし不具合の原因になります。
    取り付け時にホイールとマウントの取り付け面を清掃することを推奨いたします。

  • 適正なドレス・プリカットを実施していますか?

    ドレス・プリカットを実施しない場合、ホイール刃先の平行度・目立て状態が悪く、不具合の原因になります。使用粒度・ボンドに適したドレッサーボードおよびドレス条件をご使用ください。

  • 適切に研削水が供給されていますか?

    加工点に適切に研削水が供給されない場合、切り粉の排出や冷却が正常に行われず、不具合の原因になります。ノズルの設定や研削水量、正確な位置に研削水が当っているかご確認ください。

  • ノズルや厚みゲージにホイールが接触していませんか?

    ホイールに外部ノズルや厚みゲージ(ハイトゲージ)が接触している場合、刃先がダメージを受けて不具合を起こす可能性があります。特にホイールの交換時には刃先との衝突・干渉にご注意ください。

  • ワーク以外のものを加工していませんか?

    本来のワーク以外のものを加工している場合、不具合を起こす可能性があります。保護テープやワーク固定治具などがワークからはみ出していないかご確認ください。

  • 加工条件の変更はありませんか?

    送り速度を上昇させたりスピンドル回転数を下降させた場合は、加工負荷が高くなり研削面が荒れたり粗くなる場合があります。加工条件変更の有無についてご確認ください。

  • ワークに変更はありませんか?

    ワークの厚さや膜厚・膜の種類によっては、加工負荷が高くなり加工面が粗くなる原因になることがあります。ワーク変更の有無についてご確認ください。


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