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切割機專用純水阻抗值調整裝置 -Resistivity Management Unit-
二氧化碳溶解器可減少切割中產生的加工物帶電現象,並能抑制微粒的粘附以及靜電對半導體元件的不良影響。
為了降低純水的阻抗值,該裝置利用將二氧化碳氣體溶解於切割水中,從而將純水阻抗值調整到設定值。
經過採用新開發的CO2混合(多級混合調節)方式,可以不受切割水流量變化的影響,能維持穩定的阻抗值。另外,在切割機操作顯示器上可進行阻抗值的設定,各種加工參數的輸入以及故障警報的集中控制等操作,並且還可將該裝置安裝在6000系列機型的主機內部,從而降低了設備的佔地面積。
適用設備: 切割機
二氧化碳溶解器
純水阻抗的設定範圍(MΩ・cm)
0.5 - 1.0
純水阻抗的變化幅度
設定阻抗值目標值的±10%
特點
可隨時監視切割水的阻抗值,並按照設定的阻抗值目標值,對其進行調整。另外,由於該裝置具有自動記錄切割機的全自動運轉開始時/每次切割完成時/故障發生時的阻抗值的功能,所以有助於對生產過程實施有效的管理。
精密加工装置
切割機(Dicing and Cutting Saw)
雷射切割機(Laser Saw)
研磨機(Grinder)
拋光機(Polisher),
乾式蝕刻機(Dry etcher)
鉋平機(Surface Planer)
水刀切割機(WaterJet Saw)
適用於新製程的產品
精密加工工具
切割刀片
研磨輪
乾式拋光輪
其他產品
週邊設備
恆溫水供應設備
水阻抗調整裝置
晶片清洗設備
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