製品情報

ダイシングソー専用比抵抗値調整ユニット -Resistivity Management Unit-

CO₂インジェクタは、ダイシング中に発生するワークへの帯電を低減させ、パーティクル付着およびデバイスの静電破壊を抑制するユニットです。
供給する純水の比抵抗値を下げるために、切削水中に炭酸ガスを溶解し設定した比抵抗値に調節します。

新開発のCO₂混入（マルチステージミキシング）方式により、切削水の流量変動にも影響されることなく、比抵抗値を安定させることが可能です。またダイシングソーの画面上で比抵抗の設定をはじめ、各種パラメータの入力、アラームの集中制御などが行え、DFD6000シリーズの装置に内蔵可能な省スペース設計です。

対応装置：ダイシングソー

	CO₂インジェクタ

比抵抗値設定範囲(MΩ・cm)	0.5 - 1.0
比抵抗値変動幅	目標比抵抗値の±10％
特徴	切削水の比抵抗値を常時監視し、目標比抵抗値への合わせこみ制御を行います。また、ダイサのフルオート開始時/枚葉毎のカット終了時/エラー発生時の比抵抗値をロギング可能でプロセス管理にも有効です。