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IRカメラを用いたアライメント

アプリケーション加工実例

IR(Infrared Rays)カメラは、赤外線を利用したカメラです。赤外線は可視光に比べて波長が長いため散乱しにくい性質があり、シリコンなどを透過して裏面のパターンを撮影、アライメントすることができます。IRカメラはオプションまたはDPRとしてディスコの装置に搭載可能です。

加工事例

Si+Si、Si+ガラスなどの貼りあわせにより、パターン面が切削面上にないワークのアライメント方法としてIRカメラが使われます。

例)

以下はパターン付きウェーハ(t0.3mm)のパターン面を下向きにマウントして、標準カメラとIRカメラで観察を行ったときの画像です。

  • Photo1:標準カメラ

    標準カメラ
  • Photo2:IRカメラ

    IRカメラ

※透過するワークの厚さや材質により、IRカメラの使用可否がございますので、弊社営業までお気軽にご相談ください。


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株式会社ディスコ 営業本部 国内営業部

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