
ZHCR系列產品運用迪思科公司的獨創技術,製造出特殊結構的切割刀片,可抑制刀刃變形,提供穩定的加工
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如果切割刀片厚度超過60µm,隨著加工條數的增加,有可能發生僅刀刃中央部位磨耗的現象。刀刃的這種變形會導致切割槽變寬,工件出現突發性崩缺(chipping)等,造成品質降低。ZHCR系列產品運用迪思科公司的獨創技術,製造出特殊結構的切割刀片,抑制刀刃變形,實現品質穩定的加工。因此可望提高切割刀片的使用壽命。ZHCR系列在下列易發生刀刃變形的加工中發揮了真正的價值。 |
特 點
- 使用厚度超過60µm的切割刀片進行的加工
- 切割道上TEG較多的晶圓加工
- 雷射開槽後的刀片切割
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切割刀片刀刃形狀圖像 在刀刃中央部位易磨耗的加工中,ZHCR具有能夠維持刀刃正常形狀的特性。
加工對象
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矽晶片、其他材料 |
適用設備
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全自動切割機: 6000系列、600系列
自動切割機: 3000系列、300系列、500系列 |
規 格
切割刀片及加工槽比較(SEM照片)
由照片可以看出,隨著加工的進行,普通切割刀片會發生中央部位凹陷,加工槽異常的現象,而ZHCR則能够維持爲正常狀態。
【參考】切割刀片刀刃形狀的變化圖像
本圖像表示厚切割刀片的刀刃發生變形,造成品質降低的現象。ZHCR系列具有刀刃可維持為初期形狀的特性。
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刀刃變形造成工件各方面的品質降低,包括切割槽變寬、突發性崩缺(chipping)、階梯切割加工雙主軸彎曲及破損等。 |
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