ディスコ独自の技術により特殊なブレード構造を実現、先端形状の崩れを抑制し、安定した加工プロセスを提供するZHCRシリーズ
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60µmを越えるような比較的厚いブレードでは、加工ライン数の増加に伴いブレード先端の中央部だけが消耗する場合があります。この先端形状の崩れは、カーフ広がり、突発チッピングなどの品質劣化を招きます。ZHCRシリーズでは、独自の技術により特殊なブレード構造にすることで、先端形状の崩れを抑制し、品質劣化のない安定した加工プロセスを実現します。これによりブレードライフの向上も期待できます。ZHCRシリーズは、以下のような先端形状の崩れが発生しやすい加工で真価を発揮します。 |
特 徴
- 60µmを越えるような厚いブレードを使用する加工
- ストリート上のTEGが多いウエーハ加工
- レーザグルービング後のブレードダイシング
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ブレード先端形状のイメージ
ブレード先端の中央部だけが消耗しやすい加工において、ZHCRは正常な形状を維持する特性があります。
加工対象
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シリコンウェーハ、他 |
装着可能装置
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フルオートマチックダイシングソー：6000シリーズ、600シリーズ
セミオートマチックダイシングソー：3000シリーズ、300シリーズ、500シリーズ |
仕 様
ブレード及び加工溝比較（SEM写真）
加工が進むと通常品はブレード中央部が凹み、加工溝が異常になっているのに対し、ZHCRは正常な状態を保っていることが分かります。
【参考】ブレード先端形状の推移イメージ
厚いブレードが先端形状の崩れを起こし、品質劣化に至るまでのイメージです。ZHCRシリーズでは、初期の先端形状が持続する特性を持っています。
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先端形状の崩れが引き起こす品質劣化は様々で、カーフの広がり・突起チッピング・ステップカット2軸の曲がりや破損などがあります。 |
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