DFD6342Fully Automatic Dicing Saw
本设备是对应于车载半导体等期待高品质的加工，在基本功能上追加了提高UPH，促动自动化，以及节能，提高整体的生产效率。
- Φ200 mm
- 对向式双主轴
提高生产效率(UPH)
- 将对向式主轴刀片之间的距离缩短到19.8mm，通过增加同时切割线数缩短切割时间
- 通过3轴同时管控缩短加工轴的返回时间
- 通过新型NCS(Non Contact Setup)缩短set up时间※
-
Auto Blade Changer(ABC)※
- 排除因等待刀片交换而导致的停机，提高设备的运作率
- 防止刀片交换作业时的人为错误
- 自动记录加工刀片的ID，提高可追溯性
- 选项功能
※选项功能
通过节能设计减少生产成本（于旧机型相比）
- 空气使用量-20％，主轴冷却水量-63％
提高设备的易用性
- 采用19 英寸显示屏：对同时显示的信息做了更容易观察的整理，提高了操作性
- 防止人为错误功能：搭载了刀片交换指南，加工位置补正时的操作指导，加工位置确认等各种功能
- 显示屏手写记录：通过手写记录的粘贴，交班留言以及锁住显示屏上操作按钮功能等，提高了操作员交班时的便捷性
- 数据分析功能：Event filtering的显示，数值数据的分类/图像显示，复数切割痕画面的显示等，简便了在本机上的确认操作
设备的自行诊断，监视功能
- 加工轴：提供预防性维修管理相关的诊断分数
- 主轴：监视重要的温度异常
加工物流程系统
-
下取物手臂将加工物从晶圆盒中取出，在预校准台进行中心定位作业后，搬运到工作台 → 切割 →
-
上取物手臂将加工物从工作台搬运到离心清洗台 → 清洗，干燥 →
- 下取物手臂将加工物送回晶圆盒内
Specifications
| Specification | Unit | 1.8 kW | High speed rotation | 2.2 kW (3-inch blade) | |
|---|---|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ8 inch | |||
| X-axis | Cutting range | mm | 210 | ||
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 1,000 | |||
| Y1･Y2-axis | Cutting range | mm | 210 | ||
| Index step | mm | 0.0001 | |||
| Positioning accuracy (single pitch error) |
mm | Within 0.002/5 | |||
| Positioning accuracy | mm | Within 0.002/210 | |||
| Z-axis | Moving resolution | μm | 0.0002 | ||
| Repeatability accuracy | μm | 1.0 | |||
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 380 | ||
| Spindle | Rated torque | N・m | 0.29 | 0.19 | 0.7 |
| Rotation speed range | min‐1 | 6,000 ～ 60,000 | 20,000 ～ 80,000 | 3,000 ～ 30,000 | |
| Equipment dimensions(W×D×H) | mm | 1,180 × 1,080 × 1,800 | |||
| Equipment weight | kg | Approx. 1,240 | |||
※ 为了改善，机器的外观，特征，规格等本公司可能在未预先通知用户的情况下实施变更。
※ 机器的使用条件，请先确认标准规格书。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
 |  |  |  |  |  |  |  |  |  |  |
| DFD6240 | DFD6340 | DFD6341 | DFD6361 | DFD6362 | DFD6363 | DFD6450 | DFD6560 | DFD6561 | DFD6750 | DFD6760 |
| 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 | 全自动 |
| 1 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 |
| 900 × 1,190 × 1,800 | 1,180 × 1,110 × 1,850 | 1,180 × 1,080 × 1,820 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,200 × 1,550 × 1,800 | 1,120 × 1,500 × 1,600 | 1,240 × 1,550 × 1,960 | 1,240 × 1,550 × 1,800 | 1,510 × 1,554 × 1,800 | 1,200 × 1,900 × 1,800 |
| 1,200 | 1,600 | 1,500 | 2,050 | 2,050 | 1,800 | 1,400 | 1,640 | 1,500 | 2,200 | 2,800 |