業界最薄の10µmハブブレードを実現、強度の高い新開発H1ボンドの採用により薄刃領域でのダイシングにおける破損や蛇行を低減
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ZHZZシリーズは、狭ストリートなど薄刃ブレードを使用する加工に焦点を当て開発されたハブブレードです。新たに開発した強度の高いH1ボンドを採用することで、薄刃領域でのブレード破損や蛇行を低減し、安定加工を実現します。業界最薄の10 μmブレードをはじめとしたラインアップで、更なる狭ストリートウェーハへの対応に貢献します。 |
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特 徴
- 薄カーフ領域でのブレード破損・蛇行の低減
- 狭ストリートでの安定加工が可能
- 10µmの極薄ハブブレードを実現
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切り溝写真
ZHZZシリーズは、10µmのカーフを実現することが可能です。20µmや40µmのブレードに比べ非常に薄いブレードですが、切り溝の曲がりなく加工できていることが分かります。
加工対象
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シリコンウェーハ、化合物半導体ウェーハ(GaAs、GaP等)、他 |
装着可能装置
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フルオートマチックダイシングソー：6000シリーズ、600シリーズ
セミオートマチックダイシングソー：3000シリーズ、300シリーズ、500シリーズ |
仕 様
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標準対応範囲（サイズ）※
※標準対応範囲はタイプにより異なりますので、詳しくは弊社営業担当にお問い合わせください。 |
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標準対応範囲（集中度）
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蛇行回転数比較
ZHZZシリーズは、従来品よりも蛇行が発生する回転数が高く、蛇行しにくいことが分かります。
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高回転数の方が蛇行しやすい傾向を利用した評価方法です。
徐々に回転数を上昇させ、蛇行が発生した回転数で判定します。 |
| Workpiece |
: |
Si φ6" |
| Depth |
: |
400µm (half cut) |
| Feed speed |
: |
90mm/s |
| Blade |
: |
ZHZZ-SD3500-H1-70 |
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: |
ZH05-SD3500-N1-70 |
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破損速度比較
ZHZZシリーズは、従来品よりも破損が発生する速度が高く、破損しにくいことが分かります。
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高速の方が破損しやすい傾向を利用した評価方法です。
急激に速度を上昇させ、破損が発生した速度で判定します。 |
| Workpiece |
: |
Si φ8" |
| Depth |
: |
680µm |
| Spindle revolution |
: |
35,000 min-1 |
| Blade |
: |
ZHZZ-SD3000-H1-50 |
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: |
ZH05-SD3000-N1-50 |
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