製品情報

電鋳ボンドをポーラス構造にすることで、難削材・複合材の高品位加工を実現するZP07シリーズ

ZP07シリーズは、電鋳ボンドに気孔を形成することで、適度な自生発刃と電鋳ボンド特有の高い切削能力を兼ね備えたブレードです。従来の電鋳ボンドでは加工が困難だったガラスやセラミックスの加工が可能となりました。

特　徴

加工対象

複合材（ガラス＋Siウエーハなど）、セラミックス、他

装着可能装置

フルオートマチックダイシングソー：6000シリーズ、600シリーズ
セミオートマチックダイシングソー：3000シリーズ、300シリーズ、500シリーズ

仕　様

実験データ

ZP07シリーズは、ガラスとシリコンを貼り合わせたウェーハにおいて、1パスでの加工が可能で、接合面も含め高品位な結果が得られます。

参考写真（従来品電鋳ブレード）
従来の電鋳ボンドでは、加工負荷が高くなりブレード・ウェーハ共に破損してしまいました。